2022年2月21日（月）下記にてオンライン開催。

委員会・研究会資料

こちら からダウンロード頂けます。（随時更新致します。）

第８回委員会

開催時刻：12:45～13:00

＜議題＞（予定議題。随時更新致します。）

(1) 第7回委員会、第2回拡大企画委員会 議事録案確認
(2) 次回第9回委員会・第8回研究会（4月開催）について（WG-B 德田委員）
(3) 次々回　第10回委員会・第9回研究会（6月開催）について（WG-D 中塚委員）
(4) その他

第７回研究会「ALP (Atomic Layer Process) 関連技術 －現状と課題－」 

13:00～13:05　挨拶　山本 哲也　(高知工科大学、R025先進薄膜界面機能創成委員会 副委員長)
13:05～13:15　本日の研究会について　筑根 敦弘 （大陽日酸㈱　WG-Mリーダー)

13:15～14:00 「(基調講演) 原子層堆積法の理想と現実と応用－ALD Windowの理解と拡大方針」
　　　　　　　東京大学　霜垣 幸浩

14:00～14:45 「ALD(原子層堆積)アプリケーション例」　
　　　　　　　PICOSUN JAPAN株式会社　八尋 大輔

14:45～15:30 「原子層堆積法における下地酸化物材料の依存性」　
　　　　　　　物質・材料研究機構　生田目 俊秀

15:30～15:45　休憩

15:45～16:30 「ALD積層絶縁膜および界面の分析評価事例のご紹介」
　　　　　　　株式会社 東レリサーチセンター　鮫島 純一郎

16:30～17:15 「原子層エッチングにおける表面反応」
　　　　　　　大阪大学　伊藤 智子

研究会担当委員：
R025先進薄膜機能創成委員会 WG-M (基礎、素材、物性)
WG-Mリーダー　筑根 敦弘 tsukunea.qck@tn-sanso.co.jp (大陽日酸株式会社)