委員長

　田畑 仁（東京大学）

副委員長

　山本 哲也（高知工科大学）

幹事

企画幹事長

　塩島 謙次（福井大学）

企画副幹事長

　德田 崇（東京工業大学）

庶務幹事

　大矢 忍　　（東京大学）
　黒田 理人　（東北大学）
　大見 俊一郎（東京工業大学）
　中塚 理　　（名古屋大学）

委員会内組織

ワーキンググループ(WG) グループリーダー 企画幹事

　WG-E：エネルギー：　　　　　　 杉山 正和（東京大学）
　WG-B：環境・生活・バイオ：　　 德田 崇    （東京工業大学）
　WG-I：情報・通信：　　　　　　  斉藤 伸     （東北大学）
　WG-F：薄膜形成・機能・計測：　 須田 淳　（名古屋大学）
　WG-M：基礎、素材、物性：　　　喜多 浩之（東京大学）
　WG-D：デバイス：　　　 　　 　   池田 圭司 （キオクシア㈱）
　WG-P：プロセス装置、システム： 岩澤 和明（東京エレクトロン㈱）

諮問委員会 顧問委員

　金原 粲　　（東京大学）
　安田 幸夫　（名古屋大学）
　白木 靖寛　（東京大学）
　尾浦 憲治郎（大阪大学）
　吉田 貞史　（産業技術総合研究所）
　財満 鎭明　（名古屋大学/名城大学）
　室田 淳一　（東北大学）
　平木 昭夫　（大阪大学）